半導(dǎo)體行業(yè)的靜電防護(hù)知識(shí)

靜電產(chǎn)生的方法：接觸分離；摩擦; 脫皮 傳導(dǎo)。

安全第一：防靜電措施是否與安全措施相抵觸。

保護(hù)措施：接地-等電位連接；靜態(tài)功率控制；防靜電包裝。

關(guān)注的重點(diǎn)：產(chǎn)品靜電敏感性要求；保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)匹配；合規(guī)性驗(yàn)證。

何時(shí)使用金屬材料以及何時(shí)使用靜電耗散材料？

金屬材料：

1.產(chǎn)品處于等電位時(shí)可以直接使用金屬材料。

2.當(dāng)單個(gè)產(chǎn)品不會(huì)直接與金屬材料接觸時(shí)，可以使用金屬材料。

由于整個(gè)產(chǎn)品處理框架的關(guān)系，晶圓使用非靜電膜，因此某些設(shè)備無法配備離子風(fēng)扇。在此過程中會(huì)積聚靜電。除了安裝離子風(fēng)扇外，我們還將選擇一些快速導(dǎo)電的材料來使靜電快速消失。

如果使用靜電消散材料可以嗎？

是的，但是靜電耗散非常緩慢，存在靜電積聚的風(fēng)險(xiǎn)，并且在切割過程中會(huì)發(fā)生放電，這對(duì)產(chǎn)品造成ESD損害的風(fēng)險(xiǎn)很大。

靜電材料：將單個(gè)產(chǎn)品切割，分離，運(yùn)輸和包裝后，即可使用靜電材料。

使用錯(cuò)誤材料有什么風(fēng)險(xiǎn)？

由于切割和分離后的產(chǎn)品更敏感且抗靜電能力較弱，因此，如果使用金屬材料，它們會(huì)因?qū)щ娺^快（由于直接接觸產(chǎn)品后迅速放電）而對(duì)產(chǎn)品造成ESD損壞，并且使用靜電材料會(huì)限制壓力。降低與產(chǎn)品接觸后ESD損壞產(chǎn)品的風(fēng)險(xiǎn)。

半導(dǎo)體行業(yè)的靜電防護(hù)措施

接地等電位連接：與敏感設(shè)備接觸的導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)等電位連接，以避免導(dǎo)體上的靜電引起的放電。

靜電控制：絕緣材料的靜電不能通過接地和等電位連接消除，因此必須在敏感設(shè)備周圍進(jìn)行靜電控制。

防靜電包裝：從ESD保護(hù)區(qū)運(yùn)出的設(shè)備必須使用防靜電包裝，以防止外部靜電的影響。

靜電保護(hù)的核心是消除靜電：防止靜電積聚在可能發(fā)生靜電的地方。我們用它來產(chǎn)生和釋放靜電。并將靜電電壓控制在安全范圍內(nèi)。消除現(xiàn)有的靜電積聚并及時(shí)釋放。

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