微電子設(shè)備的靜電保護(hù)

微電子設(shè)備在業(yè)界被稱為靜電敏感設(shè)備。一般而言，諸如場(chǎng)效應(yīng)器件和雙極器件之類的微電子器件具有較弱的抗靜電能力，并且人體或器件本身的靜電足以造成器件損壞。如果沒有保護(hù)措施，微電子設(shè)備很可能會(huì)因靜電而失去功能，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。一般來(lái)說(shuō)，微電子設(shè)備對(duì)靜電放電非常敏感。由于微電子裝置的尺寸小，因此難以從其外觀來(lái)判斷其是否已經(jīng)失效。唯一的方法是通過(guò)技術(shù)測(cè)量來(lái)檢測(cè)其特定參數(shù)和條件，并判斷微電子設(shè)備是否完好無(wú)損。因此，

靜電危害的特征：

隱蔽性：除非發(fā)生靜電放電，否則人體無(wú)法直接感應(yīng)到靜電，但是當(dāng)人體發(fā)生靜電放電時(shí)，由于人體感應(yīng)到的靜電放電電壓為2-3 KV，因此人體可能不會(huì)受到電擊。

潛伏性：某些電子組件在被靜電損壞后并不會(huì)顯著降低性能，但是多次累積放電會(huì)導(dǎo)致內(nèi)部組件損壞并形成隱患。

隨機(jī)性：在什么情況下電子元件會(huì)被靜電損壞？可以說(shuō)，從部件的產(chǎn)生到損壞的所有過(guò)程都受到靜電的威脅，這些靜電的產(chǎn)生也很靈活。

復(fù)雜性：由于電子產(chǎn)品的細(xì)，薄和微小的結(jié)構(gòu)特征，對(duì)靜電放電損壞的故障分析是費(fèi)時(shí)，費(fèi)力且昂貴的。它要求很高的技術(shù)要求，并且經(jīng)常需要使用諸如掃描電子顯微鏡之類的高精度儀器。即使這樣，某些靜電損壞現(xiàn)象也很難與其他原因造成的損壞區(qū)分開，使人們錯(cuò)誤地認(rèn)為靜電損壞故障是其他故障。這通常歸因于早期故障或在完全認(rèn)識(shí)到靜電放電造成的損壞之前在未知條件下的故障，因此無(wú)意識(shí)地掩蓋了故障的真正原因。

微電子靜電防護(hù)：

FC-002B

離子氣吧

02

SL-006C離子發(fā)生器

操作員：人是最大的靜電源。人們的活動(dòng)和工作會(huì)產(chǎn)生靜電，當(dāng)接觸或接近微電子設(shè)備時(shí)可能會(huì)產(chǎn)生靜電。為減少人為因素，必須穿著防靜電工作服，手套和防靜電鞋，并佩戴防靜電腕帶/腳環(huán)，并可靠接地。養(yǎng)成良好的工作習(xí)慣，并在沒有防靜電措施或不完整措施的情況下遠(yuǎn)離對(duì)靜電敏感的產(chǎn)品。

設(shè)備：為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力，自動(dòng)化設(shè)備被用于許多過(guò)程中，這些設(shè)備的運(yùn)行會(huì)產(chǎn)生大量的靜電。在微電子設(shè)備的處理中，各種過(guò)程將釋放靜電，并且大量的微電子設(shè)備將發(fā)生故障。所有設(shè)備，儀器，工作臺(tái)，凳子和架子必須可靠接地。移動(dòng)的手推車等也必須通過(guò)安裝靜電放電接地。

材料：在操作環(huán)境中使用抗靜電/靜電材料制成工作臺(tái)面，周轉(zhuǎn)箱/包裝箱。

環(huán)境：靜電的產(chǎn)生與環(huán)境濕度成正比，即濕度越高，產(chǎn)生的靜電越少。但是，高濕環(huán)境容易生銹和腐蝕。綜合考慮，一般電子生產(chǎn)車間的濕度保持在30％-70％RH。另外，離子風(fēng)扇也可用于中和靜電荷。

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