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潔凈室有哪些等級(jí),無(wú)塵布該如何選擇?
發(fā)布時(shí)間:2020-11-12 10:54瀏覽次數(shù):

潔凈室的等級(jí)說(shuō)明

  依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可將潔凈室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果潔凈室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um,潔凈室等級(jí)應(yīng)以特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。

潔凈室等級(jí)

潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

  據(jù)查詢(xún)潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的版本較多,于是小編就整理兩個(gè)較常用的劃分標(biāo)準(zhǔn),分別是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1、中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)GB/T16292-1996,具體詳情請(qǐng)看下表:

空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn):IOS14644-1(國(guó)際標(biāo)準(zhǔn))

空氣潔凈度等級(jí)(N)
大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值(個(gè)/每立方米空氣粒子)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
ISO Class 1
10
2
 
 
 
 
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1000
237
102
35
8
ISO Class 4
10000
2370
1020
352
83
ISO Class 5
100000
23700
10200
3520
832
29
ISO Class 6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISO Class 7
 
 
 
352000
83200
2930
ISO Class 8
 
 
 
3520000
832000
29300
ISO Class 9
 
 
 
35200000
8320000
293000
注:由于涉及測(cè)量過(guò)程的不確定性,故要求用不超過(guò)三個(gè)有效的濃度數(shù)字來(lái)確定等級(jí)水平

  注:由于涉及測(cè)量過(guò)程的不確定性,故要求用不超過(guò)三個(gè)有效的濃度數(shù)字來(lái)確定等級(jí)水平

空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn):GB/T16292-1996(中國(guó)標(biāo)準(zhǔn))

粒徑、數(shù)值潔凈度級(jí)別
塵埃最大允許數(shù)/立方米
微生物最大允許數(shù)
≥0.5um
≥5um
浮游菌/立方米
沉降菌/皿
100級(jí)
3500
0
5
1
10000級(jí)
350000
2000
100
3
100000級(jí)
3500000
20000
500
10
300000級(jí)
10500000
60000
-
15
 

潔凈度

潔凈室標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)

  亂流式(Turbulent Flow):

  空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由無(wú)塵車(chē)間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)為1,000-100,000級(jí)的。

  優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高無(wú)塵車(chē)間等級(jí)。

  缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)要求的潔凈度,需耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

 

  層流式(Laminar):

  層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。

  其型式可分為二種:

  ?無(wú)塵車(chē)間水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

  優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變穩(wěn)定。

  缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

  ?無(wú)塵車(chē)間垂直層流式:房間天花板完全用ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔凈度,在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫?huì)影響其它工作區(qū)域。

  優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

  缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板的吊架相當(dāng)占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。

潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

  復(fù)合式(Mixed Type):

  復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用,可提供局部超潔凈空氣。

  無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):彈性擴(kuò)充容易、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

  無(wú)塵車(chē)間潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品及半導(dǎo)體均適用。

  無(wú)塵車(chē)間并裝局部潔凈室(Clean Spot):將亂流潔凈室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,為生產(chǎn)用。

潔凈室的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)

  若想檢驗(yàn)潔凈室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮:

  遮蔽率

無(wú)塵等級(jí)
Air Change(次/hr)
HEPA遮蔽率
Class 100
240-480
50%-100%
Class 1000
17-240
10%-35%
Class 10000
10
8%-10%
  

       AirChange:FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/潔凈室體積

  HEPA遮蔽率:FFU的表面積*FFU數(shù)量/潔凈室面積

  風(fēng)速、溫濕度

  氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)

  一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃

  一般濕度控制范圍:(45±5)%RH

  壓差

  在兩個(gè)潔凈室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa,而在潔凈室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí),維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。

構(gòu)成要求

  A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕

  B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子

  C.吸濕性小

  D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高

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