靜電產(chǎn)生的方式:接觸-分離;摩擦;剝離;傳導(dǎo)。
安全第一:防靜電措施是否與安全措施相沖突。
防護手段:接地-等電位連接; 靜電源控制;防靜電包裝。
關(guān)注的要點:產(chǎn)品靜電敏感度要求;防護標準匹配度;符合性驗證。
金屬材料:
1、產(chǎn)品處于等電位的情況下可直接使用金屬材料。
2、單顆產(chǎn)品不會與金屬材料直接接觸的情況下可以使用金屬材質(zhì)的材料。
因整條產(chǎn)品加工過程框架,晶圓使用非防靜電膜,且有些設(shè)備中無法配置離子風機過程中會產(chǎn)生靜電累積,那除了加裝離子風機外我們會選用一些導(dǎo)電快的材料,讓靜電快速導(dǎo)走。
可以,但靜電消散很慢,會有靜電累積的風險,在切割時會產(chǎn)生放電,對產(chǎn)品有很大的ESD損傷風險。
靜電材料:切割分離后單顆產(chǎn)品,出貨包裝產(chǎn)品,可以使用靜電材料。
因切割分離后的產(chǎn)品比較敏感,抗靜電能力比較弱,如果用金屬材質(zhì)會因?qū)щ娺^快造成產(chǎn)品ESD損傷(因與產(chǎn)品直接接觸后會迅速產(chǎn)生放電現(xiàn)象),使用靜電材料會有限壓作用,與產(chǎn)品接觸后降低產(chǎn)品ESD損傷風險。
接地—等電位連接:與敏感器件接觸的導(dǎo)體實現(xiàn)等電位連接,避免因?qū)w帶靜電發(fā)生放電。
靜電源控制:絕緣材料的靜電通過接地和等電位連接無法消除,因此必須對敏感器件周邊進行靜電源控制。
防靜電包裝:運出ESD防護區(qū)的器件必須使用防靜電包裝,以防外界靜電源的影響。
靜電防護的核心是,靜電消除:對于可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電積累。我們采取,使靜電邊產(chǎn)生,邊泄放。并將靜電電壓控制在安全范圍。對已經(jīng)存在的靜電積聚消除掉,及時釋放。
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