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微電子ESD靜電的防護簡述
發(fā)布時間:2021-01-05 09:51瀏覽次數(shù):

近年來,隨著中國經濟的快速發(fā)展,中國信息產業(yè)的技術水平不斷提高,高分子材料和微電子器件在各個領域及其產品中得到廣泛應用。ESD是微電子器件的主要威脅。ESD嚴重影響微電子器件的質量,并威脅器件的整體運行。為了保護微電子器件,有必要從設計、生產和運輸?shù)确矫鎸﹄娮悠骷M行靜電保護。

ESD(靜電放電)表示“靜電放電”。靜電是指物體表面相對靜電荷的過?;虿蛔?,可能是正的,也可能是負的。由于“過剩”或“短缺”,靜電荷處于不平衡狀態(tài),容易轉移。

ESD包括四個階段。第一階段是電荷的產生。電荷的產生是由摩擦或感應引起的。這個過程叫做靜電起電。第二階段是電荷轉移。電荷的轉移是由于兩個物體之間的電勢差。當兩個物體的電勢平衡時,電荷轉移停止。第三階段是電荷積累。靜電荷可以通過中和或泄漏而減弱。當起電速度大于衰減時,電荷就會積累。比如人體與大地絕緣時,人體的靜電荷可以高達1.5KV-35KV。第四階段,快速釋放。靜電勢不同的物體,由于直接接觸或靜電感應,引起物體之間的靜電荷轉移,也稱為靜電放電。這是靜電場能量達到一定程度后放電的現(xiàn)象,也可能是空氣中的帶電離子在兩個物體之間傳導形成電流,產生小雪崩效應。

ESD四個保護方向

操作人員:人是靜電的最大來源。人在行走和工作時會產生靜電,接觸或接近微電子器件時可能會產生靜電放電。為減少人員因素,必須穿防靜電服裝、手套和防靜電鞋,戴防靜電手鐲/腳鏈,并可靠接地。養(yǎng)成良好的工作習慣,遠離沒有防靜電措施或措施不完善的靜電敏感產品。

設備:為了提高企業(yè)的生產能力,很多工序都使用自動化設備,這些設備的運行會產生大量的靜電。在微電子器件的加工過程中,各種過程都會釋放靜電,大量微電子器件會失效。所有設備、儀器、手術臺、凳子和架子都需要可靠接地。移動的旋轉小車等。還應通過安裝靜電釋放裝置與地面相連。

材料:臺面和周轉箱/包裝盒在操作環(huán)境中采用抗靜電/導電材料。

環(huán)境:靜電的產生與環(huán)境濕度成正比,即濕度越高,產生的靜電越少。然而,高濕度環(huán)境容易導致生銹和腐蝕。綜合考慮,電子生產車間的濕度一般保持在30%-70%RH。此外,離子風扇也可以用來中和靜電荷。

esd靜電防護

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